超高纯特气双层管道施工工艺

 半导(dao)体(ti)及太(tai)阳能薄(bao)膜工艺会(hui)运用到超高纯(chun)硅(gui)烷(wan)SiH4、磷(lin)烷PH3，砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六(liu)氟化钨(wu)WF6、高(gao)纯氨(an)NH3等特(te)气，这些(xie)气(qi)体具有易(yi)燃、剧毒、强腐蚀等特性，但(dan)却是(shi)精细半导体电子元(yuan)器件、新(xin)能源光(guang)电产品制(zhi)造的必(bi)不行少(shao)的(de)重要原料。生(sheng)产(chan)中(zhong)若(ruo)产生气体泄(xie)漏，将会构成十分(fen)严(yan)重(zhong)的产品质(zhi)量和(he)人(ren)身伤(shang)亡事故(gu)。为保证安全，此(ci)类高纯特气的运送(song)管道选用不(bu)锈钢(gang)双(shuang)层(ceng)管(guan)道。该(gai)管道施工时，对作业环境洁净度(du)、管道表(biao)里管材的洁净(jing)度、焊(han)接和设(she)备质量的要求都(dou)十分高。本篇就(jiu)超高纯特气双层管道的施(shi)工提出几(ji)点主张(zhang)供同行参阅(yue)。2.工艺原理 选(xuan)用(yong)水平(ping)15°歪斜摆放姿态进行加工(gong)，顺(shun)管内(nei)介质流向高纯氮气（99.9999%）进(jin)行吹扫(sao)，不锈(xiu)钢绷簧(huang)填(tian)充双层管夹层后用专用弯管设备进行弯管加工，双层管道表里(li)充纯氩（99.9999%）维护(hu)的全主动轨(gui)道氩(ya)弧焊衔接和柔性(xing)金(jin)属垫片端面密封(feng)衔接(jie)，结(jie)合氦气检漏(lou)的工艺原(yuan)理(li)，保证表里层管道洁净度、密闭性、弯管质量以及管道焊接设备(bei)质量。3 加工设备操(cao)作要害3.1 洁(jie)净区域操控 现(xian)场设置(zhi)三段预(yu)制加(jia)工洁净区(qu)域，树(shu)立(li)临时洁净室(shi)，要求净化(hua)等级(ji)不低于9级，保(bao)证管件(jian)加工的洁净度，进入洁净室的人员有必要穿戴洁服(fu)、洁净帽、洁净鞋、洁净手套。

3.2管道加工3.2.1管口加工 管口的加工是本施工技能(neng)的要害点之(zhi)一，管道(dao)切(qie)开、预制均在(zai)洁净环(huan)境进行(xing)，一起保证管道(dao)切(qie)开前外表无有害痕迹、破损。管道开封前应做好管内冲氮(dan)的准备工作(zuo)。管道在取掉两(liang)层塑料外包(bao)装后，要轻(qing)轻的取下两头(tou)的塑料(liao)密封套，并立即(ji)充氮，防止空气污(wu)染。管道(dao)切(qie)开时运用不锈钢专用切开器缓慢进行切开，操作时坚持(chi)切面直度(90°±0.5)。管道水平15°横(heng)放(fang)固定歪(wai)斜摆放姿态(tai)进行切开及端(duan)面处理，并(bing)顺介(jie)质下贱方向冲放高纯氮气，防止切屑(xie)进入管内。切开后选用端面处(chu)理器进行端面(mian)处理，铣去毛(mao)刺；处理过程中，保证端面朝下(xia)(一向(xiang)坚持端面朝(chao)下)，处理后轻轻抖动消除切屑；加工后使(shi)切面朝下，从上方击打5次，然(ran)后(hou)再(zai)次(ci)顺管内介质流(liu)用高纯氮气冲吹，切开面坐落(luo)氮气下贱(jian)方向。切开后和端面处理后如管上(shang)附有切屑或(huo)其他杂(za)质，用无尘布沾(zhan)异(yi)丙醇擦(ca)试干净，无(wu)尘布运用应遵(zun)循(xun)“一次擦”的原则(ze)，不能重复运用。

3.2.2 弯管加工 惯(guan)例双层管弯头需定做(zuo)，定(ding)做制品成本(ben)高，而(er)且(qie)质量(liang)不易得到(dao)保证(zheng)。施工中，可(ke)通过规划(hua)运用弯管设备，现场制造弯头，解决此加工问题。在双层管道弯(wan)管时，于(yu)表里管间套不锈钢绷簧圈(quan)，作为表里管传(chuan)力(li)物，保证弯管过程中表里管的真圆度，使弯管质量达到要求(qiu)。直管段外层管亦(yi)选用绷(beng)簧圈支垫，保证双层管夹(jia)层空(kong)间距离，起到双层管维(wei)护效果。弯管时不行取开管道两头的封头，弯头成型后视点(dian)偏差不大于5°。

3.3.2 主动焊接施工 半制品(pin)和制品的维护措施应(ying)及(ji)时有用，加工完结或焊接完结后及时将管子两头密封。焊接管子对(dui)口有必要为正(zheng)方并紧(jin)密衔(xian)接，在对口位(wei)置所(suo)答应的圆角和倒为(wei)壁厚的十(shi)分之一，衔接口需在钨极的中心位置。焊接时，按要(yao)求进行内充氩维护，操控氩气流量巨(ju)细。焊工施焊时，要求氩弧(hu)焊机焊接时电流稳(wen)定，焊接速(su)度应坚持均匀共(gong)同。焊接完结后，钢丝刷(shua)刷去焊接区外外表的氧化膜(mo)。见图(tu)3.3。

3.3 管道焊接3.3.1 主(zhu)动焊接试(shi)样(yang)制造(zao) 根据(ju)焊接工艺(yi)鉴(jian)定和焊接工艺规程，严格焊接操作。 为加强焊接质量的办理，每天正式实施焊接工作前，焊工须对每台焊机所焊标准(zhun)进行样本制造，查(cha)看主动焊接机的工况及作业(ye)人员工艺水平，保证焊接质量，样本通过(guo)后方可进行正式焊接操作。在每天(tian)焊接结束前亦制造焊接试样，所有焊接试样需(xu)妥(tuo)善保存，作为质量检验根据。3.3.2 主动(dong)焊接施工 半制品和制品的维护措施应及时有(you)用，加工完结或焊接完结后及时将管子(zi)两头密封。焊接管子对口有必要为正方并紧密衔接，在对口位置所答应的圆角和倒角为壁(bi)厚的十分之一，衔接口需在钨极的中心位置。焊接时，按(an)要求进行内充氩维护，操控氩气流量巨细(xi)。焊工施焊时，要求氩弧焊机(ji)焊接时电流稳定，焊接速度应坚(jian)持均匀(yun)共同(tong)。焊接完结后，钢丝刷刷去焊接区外外表的氧化膜。见(jian)图3.3。

3.4 管道与配(pei)件及设备衔接设备 对于运(yun)送易燃(ran)、剧毒特殊气体的双层管道，其与阀门、气表及设备衔接选用金属垫片面密封接头（VCR）设备，金属垫片选用柔性镍(nie)合(he)金垫片，保证密封严密。

3.5 管道设备 双层管道焊接碰头最终(zhong)接口处，选用增加结尾滑套的设备方(fang)式在三层管道接头处完(wan)成管道密封，从而使外层套管构成(cheng)一个全体。

在超高纯特气双层管道的施工中，选用水(shui)平15°歪斜(xie)摆放姿态进行加工，顺管内介质流向高纯氮气吹扫，不锈钢绷簧填充(chong)双层管夹层后用专用弯管设备进行弯管加工，双层管道表里充纯氩维护的全(quan)主动轨道氩弧焊衔接和柔(rou)性金属(shu)垫(dian)片(pian)端面密封衔接结合氦气检漏的施工技能，可保证双层管道表里层管道洁净度、密(mi)闭(bi)性、弯管质量以(yi)及管道焊接设备质量。对体系建成后运行中的人员安(an)全和产品质量起到了很(hen)好的根(gen)底(di)保障效(xiao)果。